主營:濺射靶材,鍍膜靶材,金屬靶材,旋轉(zhuǎn)靶材,平面靶材
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2.2靶材性能與要求
靶材質(zhì)量直接影響著薄膜的物理、外觀、力學等性能,因而對靶材質(zhì)量的評判較為嚴格,主要應滿足以下要求:雜質(zhì)及氧含量低、純度高;致密度高;成分與結(jié)構(gòu)均勻;晶粒尺寸細小。
2.3劣質(zhì)靶材缺點
a)為熔煉鉻靶燒蝕后靶面情況
b)靶面有凹痕為引弧針安裝不當導致的
c)水晶鍍膜靶材密度不夠,燒蝕后區(qū)別
d)等離子噴涂氧化鈦旋轉(zhuǎn)管靶不良