ITO靶；二氧化硅靶；高純硅靶4-7N；高純鉻靶3N5；TFT鉬靶；鉬鈮靶；鎢鈦靶90/10wt%；高純鋁靶等。

　　1.5光學(xué)，光通信，光存儲(chǔ)行業(yè)

　　銀靶；鉭靶；硫化鋅靶；高純鋁靶；硅靶。

　　2常用靶形

　　常用靶形有電弧靶、平面靶、旋轉(zhuǎn)管靶。

　　2.1平面靶材利用率提高方式

　　（1）改變磁鐵運(yùn)動(dòng)方向

　?。?）改變磁力線分布寬度和高度