高純銅粒，銅靶 化學(xué)符號：Cu 原 子 量：63.546外觀純銅：紫紅色金屬 熔    點：1083.4℃沸    點：2567℃ 密    度：8.92g/cm3蒸 發(fā) 源（絲、片）：鎢、鉭、鉬、鈮 坩    堝：Mo、C、Al2O3在10-4Torr蒸發(fā)溫度：1017℃  薄膜的機械和化學(xué)性質(zhì)：膜層附著不好，利用中間層Cr可增加附著力；性    能：質(zhì)地堅韌、有延展并有順磁性,高純銅具有良好的導(dǎo)電性、延展性、抗腐蝕能力和表面性能；6N銅在近350K時軟化而4N銅在440K時軟化；銅在干燥的空氣中不易被氧化，但銅子含有CO2的潮濕  空氣中，表面與空氣中CO2生成一層有毒的堿式碳酸銅（銅綠）這層膜保護銅不在被CO2腐蝕；在空氣中加熱時表面會與O2形成黑色氧化銅；在鹽酸和稀硫酸中不易被溶解，但是銅能溶于具有氧化作用的硝酸或含有氧化劑的鹽酸中；還溶于氨水。高純銅在極低的溫度下具有高的導(dǎo)熱性，在8K時6N銅的熱導(dǎo)率為3.0×104W/（m•K）,而4N銅在18K時的熱導(dǎo)率為3.1×103W/（m•K）。高純銅具有優(yōu)良的加工性能，可以被拉成很細(xì)的銅絲，也可以被壓制成很薄的銅箔。如果高純銅中硫含量極低，則在600-700K時銅的脆性將消失，而這時普通的銅的脆性還存在。而如雜質(zhì)氧含量很低時，高純銅的氫脆現(xiàn)象也消失。應(yīng)    用：保護膜，反射膜，增透膜