激光劃技術(shù)是生產(chǎn)集成電路的關(guān)鍵技術(shù)，其劃線細(xì)、精度高(線寬為15-25μm，槽深5-200μm)、加工速度快(可達(dá)200mm/s)，成品率達(dá)99.5%以上。集成電路生產(chǎn)過程中，在一塊基片上要制備上千個(gè)電路，在封裝前要把它們分割成單個(gè)管芯。傳統(tǒng)的方法是用金剛石砂輪切割，硅片表面因受機(jī)械力而產(chǎn)生輻射狀裂紋。用激光劃線技術(shù)進(jìn)行劃片，把激光束聚焦在硅片表面，產(chǎn)生高溫使材料汽化而形成溝槽。通過調(diào)節(jié)脈沖重疊量可精細(xì)控制刻槽高層度，使硅片很容易沿溝槽整齊斷開，也可進(jìn)行多次割劃而直接切開。由于激光被聚焦成較小的光斑，熱影響區(qū)較小，切劃50μm深的溝槽時(shí)，在溝槽邊25μm的地方溫升不會影響有源器件的性能。激光劃片是非接觸加工，硅片不會受機(jī)械力而產(chǎn)生裂紋。因此可以達(dá)到提高硅片利用率、成品率高和切割質(zhì)量好的目的。還可用于單晶硅、多晶硅、非晶硅太陽能電池的劃片以及硅、鍺、化稼和其它半導(dǎo)體襯底材料的劃片與切割。

　　2、激光微調(diào)

　　激光微調(diào)技術(shù)可對電阻進(jìn)行自動精細(xì)微調(diào)，精度可達(dá)0.01%一0.002%，比傳統(tǒng)方法的精度和效率高，集成電路、傳感器中的電阻是一層電阻薄膜，制造誤差達(dá)上15一20%，只有對之進(jìn)行修正，才能提高那些高精度器件的成品率。激光可聚焦成很小的光斑，螚量集中，加工時(shí)對鄰近的元件熱影響較小，不產(chǎn)生污染，又易于用計(jì)算機(jī)控制，因此可以滿足快速微調(diào)電阻使之達(dá)到精細(xì)的預(yù)定值的目的。加工時(shí)將激光束聚焦在電阻薄膜上，將物質(zhì)汽化。微調(diào)時(shí)首先對電阻進(jìn)行測量，把數(shù)據(jù)傳送給計(jì)算機(jī)，計(jì)算機(jī)根據(jù)預(yù)先設(shè)計(jì)好的修調(diào)方法指令光束使激光按一定路徑切割電阻，直至阻值達(dá)到設(shè)定值，同樣可以用激光技術(shù)進(jìn)行片狀電容的電容量修正及混合集成電路的微調(diào)。優(yōu)越的精度，使激光微調(diào)系統(tǒng)在小型化精細(xì)線形組合信號器件方面提高了產(chǎn)量和電路功能。

　　3、激光打標(biāo)

　　激光打標(biāo)是利用高螚量密度的激光對工件進(jìn)行局部照射，使表層材料汽化或發(fā)生顏色變化的化學(xué)反應(yīng)，從而留下長期性標(biāo)記的一種打標(biāo)方法。激光打標(biāo)有雕刻和掩模成像兩種方式:掩模式打標(biāo)用激光把模版圖案成像到工件表面而燒蝕出標(biāo)記。雕刻式打標(biāo)是一種高速全功能打標(biāo)系統(tǒng)。激光束經(jīng)二維光學(xué)掃描振鏡反射后經(jīng)平場光學(xué)鏡頭聚焦到工件表面，在計(jì)算機(jī)控制下按設(shè)定的軌跡使材料汽化，可以打出各種文字、符號和圖案等，字符大小可以從毫米到微米量級，激光標(biāo)記是長期性的，不易磨損，這對產(chǎn)品的防偽有特殊的意義。已大量用在給電子元器件、集成電路打商標(biāo)型號、給印刷電路板打編號等。紫外波段激光技術(shù)發(fā)展很快，由于材料在紫外波激光作用下發(fā)生電子能帶躍遷，打破或削弱分子間的結(jié)合鍵，從而實(shí)現(xiàn)剝蝕加工，加工邊緣十分齊整，因此在激光標(biāo)記技術(shù)中異軍突起，尤其受到微電子行業(yè)的重視。

　　4,激光玻璃內(nèi)雕、表面雕刻、鏡子剝漆去銀

　　激光玻璃內(nèi)雕技術(shù)是目前全部上先進(jìn)、流行的玻璃內(nèi)雕刻加工方法之一，激光玻璃內(nèi)雕刻加工不僅制作圖像獨(dú)特，藝術(shù)風(fēng)格迥異，雕琢細(xì)膩，圖文或精美華麗，或容雍華、或氣派豪華、行神兼?zhèn)?，能滿足人們?nèi)找嫣岣叩膶徝雷非?。產(chǎn)品市場前景十分可觀。

　　激光內(nèi)雕將會是工藝玻璃深加工行業(yè)一次變革，它節(jié)能、環(huán)保、自動化程度高，可實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)化、數(shù)字化、網(wǎng)絡(luò)化生產(chǎn)，還可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控和操作，將會大幅度降低工人勞動強(qiáng)度和改善工作環(huán)境，并且大幅度提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品檔次，是傳統(tǒng)工藝玻璃加工工藝?yán)硐氲纳墦Q代。