真空系統(tǒng)中真空腔體的設(shè)計有哪些要點？

真空系統(tǒng)中真空腔體的設(shè)計是整個系統(tǒng)性能的關(guān)鍵之一。一個優(yōu)良的真空腔體設(shè)計可以提高系統(tǒng)的真空度、減少泄漏速率、改 善工作效率和延長設(shè)備壽命。下面將介紹一些設(shè)計真空腔體的要點：

材料選擇：真空腔體的材料要求具有較高的機械強度、耐腐蝕性和導(dǎo)熱性，并且要具有較低的氣體蒸發(fā)速率。一般情況下，不銹鋼、鋁合金、鈦合金等金屬材料是常用的選擇。

結(jié)構(gòu)設(shè)計：真空腔體的結(jié)構(gòu)設(shè)計應(yīng)該盡量簡單，以減少對真空度的影響。避免設(shè)計過多的尖角和突起，減少漏氣和蒸發(fā)的可能性。同時，要保證真空腔體的密封性能良好。

泄漏口的設(shè)計：在真空腔體中盡量減少泄漏口的數(shù)量和大小，合理布局泄漏口，防止氣體泄漏進入腔體內(nèi)，影響真空度。