產品詳情應用領域：節(jié)能玻璃、智能玻璃、薄膜太陽能電池性能參數(shù) 典型數(shù)值生產工藝 粉末冶金方法成型，多個靶管/靶塊拼接貼合為AZO靶材成品。主要成分 98wt%ZnO + 2wt%Al2O3 (注：根據(jù)客戶的需求，可提供Al2O3摻雜量在0.06~3wt%的AZO靶材)純度 >99.95wt%密度 >5.52 g/cm3電阻率 ≤ 3×10-3 Ω·cm金屬雜質含量 Fe ≤50ppm, Si ≤80ppm, Na ≤20ppm, Pb ≤30ppm, others ≤50ppm.Total ≤500ppm靶材尺寸 平面靶(50~300mm)L×(50~250mm)W×(4~15mm)H旋轉靶(133~138mm)ID×(151~169mm)OD×(150~260mm)H綁定焊接率 >95%產品特點：高致密度；濺射表面光滑；含氧量充足，無需通氧濺射