1、英文名稱：VON ARDENNE WM 60 HCM INLINE-SPUTTERANLAGE 2、中文名稱：馮阿登納真空濺射鍍膜流水線 3、產地：德國 4、規(guī)格：WM 60 5、功能：適合玻璃連續(xù)鍍膜，如太陽能、LOW-E、裝飾性膜層，另可以使用于壓克力，不銹鋼板，特殊材料表面處理等。 6、簡要介紹： 6.1、主體結構：7組真空箱體，連續(xù)式，長度12.6米 6.2、真空泵組：普發(fā)真空泵+普發(fā)分子泵+POLYCOLD 6.3、濺射部分：4個陰極濺射，靶尺寸900mm*240mm 6.4、離子清洗：清洗電極580mm*160mm 6.5、工件尺寸：1200mm*600mm 6.6、工作節(jié)拍：1-2m/mi 6.7、電源：霍庭格 TIG DCS 30  4套     TIE  10/100  1套 6.8、控制方式：全自動過程及工藝控制