20世紀(jì)90年代以來靶材已蓬勃發(fā)展成為一個(gè)專業(yè)化產(chǎn)業(yè)，中國及亞太地區(qū)靶材的需求占有世界70%以上的市場份額。大量不同的沉積技術(shù)用來沉積生長各種薄膜 ，而靶材是制作薄膜的關(guān)鍵，品質(zhì)的好壞對(duì)薄膜的意義重大。目前高等品質(zhì)靶材主要由:日本、德國和美國生產(chǎn)，我國靶材產(chǎn)業(yè)起步較晚，在產(chǎn)品質(zhì)量與精細(xì)標(biāo)準(zhǔn)上與國外有不少的差距，國內(nèi)也有許多大學(xué)及研究機(jī)構(gòu)對(duì)靶材積極投入了大量鉆研與開發(fā)，經(jīng)過這幾年的發(fā)展也涌現(xiàn)了一批在靶材行業(yè)較好的公司和院校。在國內(nèi)占據(jù)了大部分中等和要求不高的靶材市場份額。     在裝飾鍍膜中也有著廣泛的應(yīng)用,獲得光亮、美觀、;價(jià)廉的塑料，陶瓷表面金屬化制品。廣泛應(yīng)用于汽車、摩托車燈具、工藝美術(shù)、裝潢裝飾、燈具、家具、玩具、酒瓶蓋、化妝品、手機(jī)、鬧鐘、女式鞋后跟等領(lǐng)域。ITO有著多種功用,首先ITO為高帶隙材料,可用作光電池的光入射窗口,又可作為收集光電流的電極,在基底半導(dǎo)體Si上形成勢壘作為SIS結(jié)的一層以及抗反射層。銦礦資源集中分布在中國、玻利維亞、俄羅斯等國。日韓美是重要的銦消費(fèi)國,也是我國原生銦的主要***國。高純?yōu)R射靶材市場規(guī)模將超過160億美元，年復(fù)合增長率達(dá)13%。近年來，磁控濺射靶材是國家鼓勵(lì)和發(fā)展的新材料產(chǎn)業(yè)。對(duì)于ITO靶材，我國有銦資源優(yōu)勢。     而Low-E膜層厚度僅為隧穿的10%～20%。合理考慮膜層所含元素對(duì)數(shù)據(jù)的影響，可以大致判斷基底玻璃在缺陷區(qū)域內(nèi)的變化程度。(3)相比基片，由于鍍膜引入了部分的Si，綜合Ca/Na比值下降（鍍膜材料中也不含有Ca），可以判斷是Na含量超出基片正常值而導(dǎo)致缺陷處相應(yīng)元素含量比值的大幅下降。氧化物靶材。?銅銦鎵硒（CIGS）5N高純鋁靶光伏太陽能靶材靶材生產(chǎn)商對(duì)工業(yè)鍍膜及相關(guān)制品加工中出現(xiàn)的若干缺陷案例采用SEM-BSE/EDS進(jìn)行觀測。分析并比較缺陷/正常區(qū)域在形貌結(jié)構(gòu)、組成上的差異，尋找缺陷成因，進(jìn)而研發(fā)相應(yīng)的生產(chǎn)及品質(zhì)改進(jìn)辦法。（1）Low-E膜層中不含有Na，以基質(zhì)中的Na作為標(biāo)定物是相對(duì)穩(wěn)定的。（2）電子束的隧穿達(dá)到約1.5m。不會(huì)隨著膜系更改、膜層的而發(fā)生元素含量上的變化。陶瓷靶材。     靶材，特別是高純度濺射靶材應(yīng)用于電子元器件制造的物理-氣相沉積工藝（PVD）、太陽能電池等表面電子薄膜的關(guān)鍵材料。所謂濺射，是制備薄膜材料的主要技術(shù)，也是PVD的一種。它通過在PVD設(shè)備中用離子對(duì)目標(biāo)物進(jìn)行轟擊，使得靶材中的金屬原子以一定能量逸出，從而在晶圓表面沉積，濺鍍形成金屬薄膜，其中被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料。稱為濺射靶材。IGZO，氧化銦錫，氧化鋅鋁，AZO，ITO，氧化錫，二氧化錫，氧化鋯，氧化鉬，氧化鈷，四氧化三鈷，氧化亞鈷，氧化銀，氧化鈣，等高純氧化物。     真空設(shè)備檢修三要素的方案：1首先判斷出起主要作用的是什么因素，找到問題的所在，從而采取相應(yīng)的措施加以解決。2真空測量真空測量是指用特定的儀器、對(duì)某一真空設(shè)備空間內(nèi)真空度高低的量度。因此真空測量儀表好壞直接影響設(shè)備正常運(yùn)行。真空計(jì)的種類很多，大體上可分真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì)兩大類。凡通過測定物理參數(shù)直接計(jì)出氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)稱為真空計(jì)。通過測量與壓強(qiáng)有關(guān)物理量，并進(jìn)行計(jì)算得到壓強(qiáng)值的真空計(jì)稱為相對(duì)真空計(jì)。真空計(jì)精度較高，一般作為標(biāo)準(zhǔn)用，在實(shí)際生產(chǎn)中，大都使用相對(duì)真空計(jì)。     為了防止在加熱時(shí)電極過熱致使密封，對(duì)電極通水冷卻。電阻加熱元件采用高熔點(diǎn)的金屬鉬片制成舟狀，機(jī)械泵：機(jī)械泵是利用機(jī)械方法來獲得低真空的主要設(shè)備，也是高真空機(jī)組的前級(jí)泵。機(jī)械泵主要有圓柱形定子、偏心轉(zhuǎn)子和滑動(dòng)翼片組成。機(jī)械泵不宜用于抽蒸汽；轉(zhuǎn)動(dòng)方向必須是順時(shí)針方向；停止工作后要防止“返油”，故在抽氣口裝有電磁閥。擴(kuò)散泵：當(dāng)機(jī)械泵的極限真空不能滿足工作要求時(shí)，通常采用油擴(kuò)散真空泵來獲得高真空。目前靶材市場主要分布于韓國、中國、日本，中國有超過20家靶材生產(chǎn)企業(yè)，依靠國內(nèi)的巨大市場潛力和利好的產(chǎn)業(yè)政策，以及產(chǎn)品價(jià)格優(yōu)勢，國內(nèi)的靶材制造商已經(jīng)在國內(nèi)市場占有一定的市場份額，并逐步在個(gè)別細(xì)分領(lǐng)域搶占了部分國際大廠的市場空間。