旋轉(zhuǎn)鋅鋁靶 Rotatable ZnAl target，應(yīng)用：主要用于制作ZnO.Al2O3 膜，廣泛用于TCO玻璃，熱反射玻璃，low-e玻璃膜。氧化鋅是一種透明導(dǎo)電膜材料。以ZnO粉末和Al_2O_3粉末為主要原料,以常壓、空氣氣氛燒結(jié)為手段制備透明導(dǎo)電膜用ZnO陶瓷靶材。研究結(jié)果表明:粉末成型壓力為3MP時,靶材電學(xué)性能佳;當(dāng)Al:Zn原子比為4.100時,ZnO的電阻率低,達4.1×10~(-3)Ω·㎝,當(dāng)Al摻雜量超過某一數(shù)值后,Al不再以替位離子形式存在,而是與周圍的Zn、O原子共同作用,生成鋅鋁尖晶石相,從而導(dǎo)致材料的電阻率升高。在1350℃時,表面形貌上靶材表面晶粒間結(jié)合的致密。從斷面形貌看,氣孔較少,主要存在晶粒交界處,氣孔圓化,基本上達到了陶瓷靶材的燒結(jié)終點。當(dāng)選取Al粉作為摻雜時,溫度系列可以看出,在1050℃晶粒尺寸大,同時得到的電阻率相對較低。   目前大部分國家高等靶材市場主要分布于韓國、中國、日本，中國有超過20家靶材生產(chǎn)企業(yè)，依靠國內(nèi)的巨大市場潛力和利好的產(chǎn)業(yè)政策，以及產(chǎn)品價格優(yōu)勢，國內(nèi)的較好靶材制造商已經(jīng)在國內(nèi)市場占有一定的市場份額，并逐步在個別細(xì)分領(lǐng)域搶占了部分國際大廠的市場空間。UVTM擁有多年開發(fā)和工作經(jīng)驗的納米材料，并擁有冷噴涂技術(shù)生產(chǎn)金屬合金靶材，其制備的靶材Sn和O含量均略低于國產(chǎn)靶材。